Les manipulateurs sous vide sont utilisés pour déplacer ou positionner des tranches ou des objets dans des chambres à vide spécialisées et pour des applications de manutention de matériaux. Ils offrent une flexibilité accrue car les liens rigides ne sont pas utilisés. Certains manipulateurs à vide incluent des dispositifs de montage ou des effecteurs terminaux. D'autres incluent des verrous de charge et des bâtons oscillants. Les manipulateurs à vide sont souvent utilisés conjointement avec des chambres à vide. Les manipulateurs ou robots de plaquettes sont un type automatisé de manipulateurs sous vide permettant de déplacer des plaquettes ou des substrats dans ou hors d'une chambre PVD, CVD, de gravure plasma ou d'autres chambres de traitement sous vide. Pour créer une chambre à vide, un moteur à vide ou un moteur à vide pompe physiquement l'air du récipient jusqu'à ce que la pression subatmosphérique souhaitée soit atteinte. Si la chambre à vide contient un ultra-vide, un manipulateur à ultra-vide et un moteur à ultra-vide doivent être utilisés.
1. La conception unique de la ventouse peut faire monter ou descendre l'objet à volonté, mais également tourner dans n'importe quelle direction du siège fixe de la ventouse pour rendre l'opération pratique et précise. La conception de la télécommande apporte de la commodité à l'opération et assure la sécurité des utilisateurs.
2. La pince de la machine d'aspiration sous vide adopte une plaque d'aspiration importée, avec une forte force d'adsorption, une sécurité élevée et une protection des produits contre les dommages.
3. La grue à vide peut facilement transporter des articles à surface fragile, difficile à soulever et lisse pour améliorer l'efficacité, réduire la main-d'œuvre et réduire les coûts de l'entreprise.